机械臂 适用晶体尺寸 300mm(450m)*1
晶体把持方式 真空吸附夹具或边缘夹具
标准边缘效应器长*2 对应345mm＠300mm的晶体
驱动轴数 5轴
手臂类型 单臂
动作范围 R轴伸缩*3 1215mm
θ轴回旋 330°
Z轴升降 480mm
B轴回转 440°
回转半径*2 510mm
速度*2 伸缩 260°/s
回旋 330°/s
升降 550mm/s
B轴回转 350°/s
线性 2000mm/s
重复定位精度*2 0.1mm(P-P)
质量 66kg
位置调整器 适用晶体尺寸 300mm
晶体把持方式 真空吸附夹具
检出对象 凹槽
晶体材质 素*4
晶体边缘检出传感器 LED + CCD线性传感器
动作范围 回旋 无限制
速度(加速/减速时间) 回旋 1000°/s(0.1s/0.1s)
LINEMENT精度 ±0.03°
LINEMENT时间 1.7秒以下
质量 5.8kg
设置环境 洁净等级*5 ISO等级1
使用温度·湿度 20～30℃,35～55%RH(不结露)
保管温度·湿度 0～40℃,35～80%RH(不结露)
标高 表高1000m以下
环境 无爆炸性，腐蚀性，可燃性气体
MCBF 1500次循环以上
*1：本公司标准终端效应器(300mm:边缘把持/真空吸着,450mm:真空吸)
*2：300mm晶体(SEMI规格标准品),当使用本公司标准300mm对应终端校准器时
*3：机械臂回旋中心位置～晶体中心位置(本公司标准300mm对应终端效应器时)
*4：根据SEMI规格为基准的晶体规格。特殊石英晶体请与我司联系。石英晶体也可对应（有业绩）。但是根据石英规格，本公司需要进行评价和调整。
*5：在0.3m/s的流量下，机械臂进行真空吸附
