TT系列机器人
用于半导体、有机EL、LCD面板、太阳能面板
长伸展距离伸缩手臂
NT系列的所有功能都被运用到TT系列，包括访问多达四个FOUP的能力。TT系列的设计采用了NT系列水平多关节型手臂带有高刚性伸缩基座的设计，提供高低位置的高速搬运。
卓越的伸展距离 单个的TT系列手臂可以伸展到四个FOUP。伸缩手臂提供了附加的灵活性，可以伸展到FOUP并在高低位置处理设备。 高吞吐量 TT系列机器人利用NT系统手臂的带有双重抓手的高速设计，实现了高吞吐量。 SEMI F47合规 TT型号可以瞬时响应电波动，如电压下降，并且在电压恢复时自动恢复运行。 SEMI S2合规 TT型号可以满足对环境和人身安全的特殊考虑。 碰撞检测 软件和硬件组件都配备有碰撞检测功能，以减少碰撞所造成精密、专用设备的损坏。
TT系列机器人规格
| 型号 | TT220 | |
|---|---|---|
| 构造 | 伸缩水平多关节型 | |
| 自由度 | 5 轴 | |
| 运动范围 | θ 轴 (旋转JT2) | 340° |
| Z 轴 (上下JT3) | 740 mm | |
| θ 轴 (旋转JT4) | 340° | |
| H1 轴 (旋转JT6) | 340° (380°)*2 | |
| H2 轴 (旋转JT7) | 340° (380°)*2 | |
| *大伸展距离 | 1,230 mm | |
| 重复性 | ±0.1 mm （晶圆中心） | |
| 无尘度*1 | ISO 1级 | |
| 控制柜 | D60/D61 (规格见无尘控制柜) | |
*1: 于川崎的无尘间内测得
