NX系列机器人
用于半导体、有机EL、LCD面板
中等伸展距离水平手臂
NX系列无尘机器人被设计为与两个或三个300mm的FOUP配合使用，而不需要使用轨道。NX系列在设计上与NS系列类似，但是附加的独立轴更换了RTZ动作设计，显著增加了NX的运动范围。
卓越的伸展距离 单个的NX系列手臂可以达到2或3个FOUP而不需要线性轴。该手臂被设计为高刚性，以及可以利用窄间距访问晶圆台以及FOUP中的任意位置。 高吞吐量 NX系列实现了利用双臂机械手，如NX520，从FOUP到校准器然后到平台200晶圆每小时（WPH）的吞吐量。 SEMI F47合规 NX型号可以瞬时响应电波动，如电压下降，并且在电压恢复时自动恢复运行。 SEMI S2合规 NX型号可以满足对环境和人身安全的特殊考虑。 碰撞检测 软件和硬件组件都配备有碰撞检测功能，以减少碰撞所造成精密、专用设备的损坏。
NX系列机器人规格
| 型号 | NX510 | NX520 | NX540 | |
|---|---|---|---|---|
| 构造 | 水平多关节型 | |||
| 自由度 | 4 轴 | 5 轴 | 4 轴 | |
| 链接 | 2 | 2 | 3 | |
| 运动范围 | θ 轴 (旋转JT2) |
330° | 330° | 318° |
| 440 mm | 440 mm | 440 mm | ||
| Z 轴 (上下JT3) |
832 mm | 832 mm | 1,232 mm | |
| 336° | 336° | 336° | ||
| X 轴 (前后JT4) |
- | 336° | - | |
| W 轴 - 下 (旋转JT6) |
||||
| W 轴 - 上 (旋转JT7) |
||||
| 重复性 | ± 0.1 mm （晶圆中心） | ±0.25 mm | ||
| 无尘度*1 | ISO 1级 | |||
| 控制柜 | D60/D61 (规格见无尘控制柜) | |||
*1: 于川崎的无尘间内测得
