NS系列机器人
用于半导体、有机EL、LCD面板
经典水平多关节手臂
NS系列无尘机器人以其长期现场使用证明其具有300mm晶圆搬运所需的可靠性和高水平性能。NS系列的RTZ操纵器运动功能，具有线性轴的可选长度，以实现额外的FOUP伸展范围。
SEMI F47合规 NS型号可以瞬时响应电波动，如电压下降，并且在电压恢复时自动恢复运行。 SEMI S2合规 NS型号可以满足对环境和人身安全的特殊考虑。 碰撞检测 软件和硬件组件都配备有碰撞检测功能，以减少碰撞所造成精密、专用设备的损坏。 翻转夹持轴 NS411型号有一个附加轴，用于在水平和垂直角度搬运晶圆。 悬挂式安装 NS511型号具有吊装规格设计，用于在化学液体环境中使用，同时满足ISO 5级的要求。
NS系列的规格
| 型号 | NS410 | NS411 | NS420 | NS510 | NS511 | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 构造 | 水平多关节型 | |||||
| 自由度 | 3 轴 | 4 轴 | 4 轴 | 3 轴 | 4 轴 | |
| 运动范围 | Y 轴 （行进JT1） |
2 FOUP: 660 mm / 3 FOUP: 1,070 mm 4 FOUP: 1,670 mm |
- | - | ||
| θ 轴 (旋转JT2) |
380° | 325° | 325° | 360° | 473° | |
| Z 轴 (上下JT3) |
380 mm | 380 mm | 380 mm | 440 mm | 440 mm | |
| X 轴 (上下JT4) |
710 mm | 798 mm | X1: 646.8 mm X2: 646.8 mm |
598 mm | 816.5 mm | |
| F 轴 (旋转JT5) |
- | 156° | - | - | 200° | |
| 重复性 | ± 0.1 mm （晶圆中心） | |||||
| 无尘度*1 | ISO 2级 | ISO 5级 | ||||
| 控制柜 | D60/D61 (规格见无尘控制柜) | |||||
*1: 于川崎的无尘间内测得
