蚀刻液降温冷却系统

简介

刻蚀机是制作电路板、刻印微电子元器件的设备，通过化学或者物理的方法来蚀刻硅晶圆形成电子元器件图案。机器在蚀刻过程中会产生热量，从而需要蚀刻液降温冷却系统进行降温。刻蚀机有多个工作模块，因此需要多回路的循环水降温。我公司为半导体行业研发的蚀刻液降温冷却系统，助力于国内半导体行业的快速发展，能为国内的半导体芯片制造业献出我们现有的技术和服务，我们感到无上荣光。

产品特点

1.非标可制定：恒温—恒流—恒压

2.标准型：智能控制水温5～30℃±1，

3.非标定制型：控制水温 -50～85℃±0.3；控制水流1～1000L±0.03L；控制压力0.1～10±0.04Mpa

4.控制器：PCL、触摸屏，可连接上位机，远程控制及手机APP控制。

5.机组俱备八大保护功能：电源相序保护装置、漏电保护装置、压缩机过载保护装置、电圈过热保护装置、高低压保护装置、缺水保护装置、冷冻水流保护装置、防冻保护装置。

制冷原理

压缩机运转，使低温低压的气态制冷转为高温高压的气态制冷剂进入冷凝器，冷凝内的制冷部份热量被外置冷却水或散热风扇排出冷凝器，制冷剂放热后液化为高温高压液态流出，经过干燥过滤器干燥过滤后，流入膨胀阀节流、降压，制冷剂液化为低温低压的液态进入蒸发器进行热交换，低温低压的液态冷媒吸收蒸发器外周围介质（水、油）热量，吸热过程中冷媒温度保持不变，体积发生变化，吸热后的低温压的液压制冷剂气化为低温低压的气态制冷剂进入到压缩机，经压缩机压缩，被压缩成高温高压的气态，进入冷凝器，从而实现制冷循环的整个过程。

制热原理

在制冷原理的基础上，压缩机运转，使低温低压的气态制冷转为高温高压的气态通过四通阀、储液罐，制冷剂进入冷凝器，冷凝内的热量被利用经水水箱加热，加热的水可高达90度，制冷剂放热后液化为高温高压液态流出，经过干燥过滤器干燥过滤后，流入膨胀阀节流、降压，制冷剂液化为低温低压的液态进入蒸发器进行热交换，低温低压的液态冷媒吸收蒸发器外周围介质（水、油）热量，吸热过程中冷媒温度保持不变，体积发生变化，吸热后的低温压的液压制冷剂气化为低温低压的气态制冷剂进入到压缩机，经压缩机压缩，被压缩成高温高压的气态，进入冷凝器，从而实现制热循环的整个过程。

机组性能

蚀刻液降温冷却系统采用多个压缩机并联设计，每组制冷系统自带一个的制冷剂回路；制冷系统由PLC控制，逐个开、关机，单机故障率极低，确保制冷系统有着稳定的性能，长年运行情况下之选。

冷却装置控温原理

1.蚀刻液降温冷却系统的冷却水进入水端流经水路，使冷却管内达到充足的水流量，改善远程等离子发生器的冷却效果，减少在内表面上生成的气态物质，有效降低凝结在晶圆表面的异常颗粒数量。

2.冷却装置的冷却盘和冷却板围成一个冷却腔,进液口和排液口设置在冷却腔的底壁，其中，在冷却腔内设计阻碍水流的方式，阻碍冷却水直接从进水口流向排水口,使冷却液进入储水槽及其周围区域流动，让冷却液尽量流经冷却腔的整个区域,而不是直接从进液口流向排液口，可让流入的冷却液均匀地与冷却板接触，进行热交换，冷却装置可均匀地推动冷却液流动，使冷却板得到充足的冷量。

3.冷却结构的离子束刻蚀机工作台，固定在离子束刻蚀机的真空腔内，传动座和基片台，在基片台与传动座之间形成与通水轴串联连通的冷却水循环装置，通水轴分别连通进水管路和出水管路而与冷却水道一起形成冷却水回路，再与蚀刻液降温冷却系统的进水管及出水管连接形成一个水循环冷却系统，使温度控制在实用工况的温度值，确保有效基片台的冷却效果，提高了离子束刻蚀的均匀性。

产品质量

凡是购买我公司设备的，在设备交付后如发现设备的其中一个零部件为二手伪劣产品的，我公司以假一赔十的方式对用户进行赔偿。在设备交付后如发现设备是以小充大或以次充好，用户无条件退、换货，所有费用我司承担。

技术参数